扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料

扫描电镜另一类经常需要溅射喷金的是非导电材料。由于它们的非导电性，其表面带有“电子---”的作用。这种表面上的电子积累被称为“充电”，为了消除充电效应，一种常见的解决该问题的的方法是降低样品腔的真空度。这样可以在样品表面附近引入带有正电荷的分子。它们与充电电子相互中和，从而消除充电效应。这已经被证明是一种行之有效的方法。然而，真空室中引入的空气分子会干扰电子束，影响图像。因此，为了追求高的扫描电镜喷金图像，则建议选择使用磁射喷金;镀层充当一个导电通道，使充电电子可以从材料中转移走。

电子半导体材料是现代制造的基础

电子半导体材料是现代制造的基础，是推动集成电路产业发展---的关键，几乎贯穿整个集成电路制造过程。电子器件在实际服役过程中，由于设计原因或器件与环境相互作用，性能或结构发生变化，可能会出现性能下降或者破坏，需要对失效的原理、机理进行明确并制定相应的---措施。

扫描电镜通常使用10kv~30kv加速电压工作，可获得图像；微区成分分析也能提供---的定性定量结果。然而对于某些热敏或者导电性能差的样品，如：半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，有时不允许进行导电处理，而要求直接观察。即可选用低电压成像技术，选用1~5kv或---的加速电压进行成像。

扫描电子显微镜通常至少有一个检测器

当一束超细高能入射电子轰击和扫描样品表面时，激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续光谱x射线、背散射电子、透射电子以及可见、紫外和红外区域的电磁辐射。同时可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是sei)，其中许多配备了额外的检测器，如eds、bse、wds、ebsd、cl等。但特定仪器的特殊功能---依赖于合适的探测器，探测器的安装角度，即样品分析室的设计，对分析效果影响很大。为了获得较高的扫描电子显微镜分析，我们应该对各种功能机制有深入的了解。

灯丝发射的热电子在2

灯丝发射的热电子在2-30kv的电压下加速，经两个聚光镜和一个物镜---后，形成具有一定能量、强度和强度的入射电子束。光斑直径。在线圈产生的磁场作用下，入射电子束按一定的时间和空间顺序按光栅图案进行扫描。由于入射电子与样品的相互作用，从样品激发的二次电子被收集器收集，收集器可以收集向各个方向发射的二次电子。这些二次电子被加速射到闪烁体上，使二次电子信息转化为光信号，然后通过光管进入光电倍增管，使光信号转化为电信号。这个电信号经过视频放大器放大后输入到显像管的栅极来调制荧光屏的亮度，荧光屏上就会出现与样品对应的相同图像。当入射电子束在样品表面扫描时，二次电子发射量随样品表面的起伏（形貌）而变化。