发布单位:九鼎(天津)新材料科技有限公司 发布时间:2022-7-7
选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度
选用低加速电压,即意味着使用低能电子束,入射样品后受到散射的扩散区域小,相互作用区接近表面,有利于表面形貌成像。常规加速电压观察半导体或绝缘体时,样品必须镀导电膜,这时形貌衬度是成像衬度,膜层完全掩盖了样品不同元素出射电子产率的变化,不能观察到样品的成分衬度。选用低能电子束,样品不用镀膜,可直接观察样品的形貌和成分衬度,充分反映出材料的原貌。
对于某些导电性差的材料,如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维、或者含水的动植物样品,要求直接观察微观形貌,使用常规高真空(high vacuum,hv)成像受到---,应该使用vp(variable pressure,可变压力模式)或ep(extend pressure,扩展压力模式)成像技术。
不导电的样品有哪些特点?
总而言之,对于不导电的样品,如生物、纸张、橡胶、塑料、陶瓷等,除非使用环境台式扫描电镜或低真空模式的电镜或采用低的加速电压做分析,否则在传统电镜中进行图像观察和成分分析时若没有蒸镀导电层,则容易产生放电,造成图像漂移,热损伤等现象,使分析时难以定位和---。当入射的电子束能量较大时,那些不耐热或低熔点的样品在电子束的照射部位有可能产生起泡、灼伤甚至熔融。为了使样品表面能有---的导电性和散热功能,一定在样品表面蒸镀一层导电膜层。
扫描电镜对样品的要求有哪些呢?
扫描电镜对样品的要求有哪些呢?
首先样品要保持干燥,不会被电子束分解,在电子束扫描下热稳定性要好,能提供导电和导热的通道。样品的大小或者厚度需要适用于样品台的安装,观察面要清洁,没有污染物。若需要进行微区成分分析,样品的表面还应该要平整。带有磁性的样品要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场影响。如果不去磁,磁性颗粒很容易吸附到扫描电镜的极靴上,会对电镜的分辨率造成影响,所以需要先消磁再上机测试。
电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种
电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种。
一种是利用场发射效应产生电子,称为场发射电子。这种电子很昂贵,超过十万美元,并且需要不到10-10托的真空。 但它的使用寿命至少为1000小时,并且不需要电磁镜头系统。
另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化---两种。 钨的寿命在30到100小时之间,价格便宜,但图像不如其他两种明亮,通常用作廉价或标准的sem配置。六硼化---的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时,价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍,需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上;然而,它比钨更容易过饱和和热激发。