发布单位:九鼎(天津)新材料科技有限公司 发布时间:2022-8-3
二次电子像的衬度主要取决于试样的表面形貌
二次电子的发射率随原子序数的变化不是很明显,如图a所示,它主要取决于试样的表面形貌。它是入射电子与试样中核外电子碰撞,使试样表面的核外电子被激发出来所产生的电子。当这些代表试样表面结构特征的电子被相应的探测器收集后作为扫描电镜的成像信号,其所成的像就称为二次电子像。二次电子像的衬度主要取决干试样表面与入射电子束所构成的倾角,而对于表面有一定形貌的试样,其形貌被看成由许许多多与入射电子束构成不同倾斜角度的微小形貌,如凸点、尖峰、台阶、平面、凹坑、裂纹和孔洞等细节所组成。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
a. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的---。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
b. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
c. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 ev),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的---范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。
钨灯丝台式扫描电镜价格
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