扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪

扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星，用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常---的。

扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用，既减轻了用户单次设备采购成本，又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生

从电子中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的x射线，探测器接收到这些特征x射线后，经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。

当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用---的30%左右)。在此---范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。

台式扫描电镜图像的成像信息

在实际工作中要采集到一幅好照片，除了要有好的台式扫描电镜设备之外，选择合适的加速电压值也是很重要的一步。选择高、低不同的加速电压各有不同的优缺点，通常应根据试样的组分和分析目的的不同来考虑，即金属试样一般会选择较高的加速电压，轻元素组成的试样一般会选择较低的加速电压。

台式扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面，图像的表面细节就越显得丰富、细腻，---是会明显减少边缘效应，使得到的图像显得更协调、柔和。另外，低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小，不容易造成试样的荷电和图像的漂移，也会减轻对试样的损伤。

若灯丝的加热电流偏小,未达到临界饱和点

若灯丝的加热电流偏小，未达到临界饱和点，则会使灯丝的温度偏低，发射束流偏小且不稳定，结果会导致亮度不足、图像的信噪比变差；若灯丝的加热电流刚好处在临界饱和点，则发射的束流既稳定，亮度又高，图像的信噪比又比较好；若加热的电流超过临界饱和点，则只会增加灯丝的温度，而发射束流不会有明显增加，但会明显缩短灯丝的寿命，这种情况下的阴极激发电极寿命可能只有30~40小时，寿命短的甚至不到20小时。