1.金属断口和机械零部件的表面通常会含有油污、粉尘等外来污染物，这种样品在放进台式扫描电镜分析之前，文山投射电镜分析，要先用家用洗涤剂再用进行超声清洗，以免影响分析结果和污染样品仓。
2.有些要测量横截面的膜层、金属间化合物的厚度等块体样品往往需要经研磨、抛光和化学刻蚀等处理。研磨时为了避免边缘产生倾斜或形成圆钝角，影响表层膜厚及离子迁移---等的测定，可用双面夹持片夹紧后进行研磨、抛光，再经刻蚀、超声清洗、干燥之后即可分析。
3.对于要分析或测量样品的表面镀层、中间夹层或者合金化层的微小薄层成分，以及测量薄样品的截面厚度，可以用塑料米包埋、加热、加压进行固化或采用环氧树脂浆料把样品包裹固化后再进行研磨、抛光和化学刻蚀，投射电镜分析中心，经超声清洗、干燥之后，再蒸镀导电层就可放入样品仓中分析。
景深大的特点使扫描电镜在分析常规实验断口、现场失效断口等方面获得了---的应用，断口试样无需破坏，无需制样，放入样品仓可直接观察，这些都是光学显微镜、透射电镜等检测仪器所不能比拟的。首先，宏观观察失效断口，判断断裂源区及裂纹扩展方向；其次利用扫描电镜微观判定断裂源区及扩展区的断裂类型，后结合失效件的原始情况、生产工艺、用户处理及使用情况、化学成分、金相检测、力学性能检测等得出结论。
电子是用来产生电子的，主要有两种，一共三种。
一种是利用场发射效应产生电子，称为场发射电子。这种电子很昂贵，超过十万美元，并且需要不到10-10托的真空。 但它的使用寿命至少为1000小时，投射电镜分析价格，并且不需要电磁镜头系统。
另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化---两种。 钨的寿命在30到100小时之间，价格便宜，但图像不如其他两种明亮，通常用作廉价或标准的sem配置。六硼化---的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时，价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍，需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上；然而，它比钨更容易过饱和和热激发。
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