从电子中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，普通透射电镜测试，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的x射线，探测器接收到这些特征x射线后，经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。
当以背散射电子为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，穿透能力强，普通透射电镜测试费用，可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用---的30%左右)。在此---范围，入射电子已有了相当宽的侧向扩展，淄博普通透射电镜测试，所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低，一般在500～2000nm左右。
扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星，用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时，普通透射电镜测试机构，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常---的。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用，既减轻了用户单次设备采购成本，又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。
加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
选择高加速电压的缺点，所获得的图像会缺少表面信息和细节，易呈现高反差，---是会明显变大边缘效应，使得到的图像欠柔和，也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外，高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤，以及图形的漂移。
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