在目前微观形貌的分析研究中,原位气相,随着半导体器件等---的发展,往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解,因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片,不仅要有一台性能---的高分辨力扫描电子显微镜,而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验,即要考虑以下几种因素:
(1)入射电子束的束流密度要足够大,而且稳定***电子源的发射问题。
(2)入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称(圆),涉及电子透镜的设计、加工和装配水平,以及镜筒受污染的影响程度等***探针的形成问题。
这些不同细节的部位发出的二次电子数各不相同,从而产生亮暗不一的衬度。由于二次电子的能量小,用 e-t探测器检测时,廊坊原位气相,仅需在其前面的栅网上加几百伏的正电位,常施加的电位为+250~+300v,即通过该电位就可把试样上发射出来的大部分二次电子吸引过来,所以二次电子像的阴影效应不明显。在二次电子探测器所对应的立体角内也能接收到相应的一小部分背散射电子,原位气相费用,所以在二次电子像中也包含了一小部分背散射电子的信息,如图b中对应的背散射电子成分像的一些衬度信息也能在图a中反映出来,只不过图a中所显现的原子序数的衬度没有像图b中那么明显而已。
加速电压越高入射电子束的波长越短,也就越容易得到高分辨力的图像,原位气相价格,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
选择高加速电压的缺点,所获得的图像会缺少表面信息和细节,易呈现高反差,---是会明显变大边缘效应,使得到的图像欠柔和,也会使图像容易呈现生硬的感觉。另外,高的加速电压、大的束斑也容易造成试样的放电和损伤,以及图形的漂移。
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