建立大型分析测试时,扫描电镜可以起到承上启下的作用,早期能满足大部分的测试需要,后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估,有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是,环境场扫描电镜测试中心,他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单,样品制备流程非常简单,获取图像可以像---几个按钮一样简单。具有特定需求的用户,环境场扫描电镜测试价格,只要投入一点时间进行培训,就可以访问更高的的程序。总的来说,台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多,而且系统本身稳定。而且设备耐使,不容易坏,潜在的维修成本也很低。
加速电压越低,电子束的波长越长,越不容易得到高分辨力的图像,所以低加速电压仅适合于拍摄放大倍率不太高的图像,还有信噪也比较差,抗外部电磁场的干扰能力也较弱,对试样表层所受的污染会变得更敏感,所以不易得到高清晰和高分辨力的图像。
加速电压越高入射电子束的波长越短,也就越容易得到高分辨力的图像,还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强,也不易受到试样表层污染斑的影响,环境场扫描电镜测试,所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度(>30°)的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中,非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽,从几十ev到几十千ev。从数量上看,临沧环境场扫描电镜测试,弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。
在扫描电镜中检测的试样,其准备工作十分简便。对导电体试样,可以不做任何预处理,只要其大小形状适合试样室,即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样,则在置入试样室前,要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质,常用的是金或碳。
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