扫描电子显微镜对样品的要求:
首先一点,不会被电子束分解;
其次第二点,在电子束扫描下热稳定性要好;
第三点,可以提供导电还有导热通道;
第四点,大小和厚度要适合使用于样品台的安装
第五点,观察面应该清洁并且无污染物;
第六点,进行微区成分分析的表面应该平整;
第七点,磁性试样要预先去磁,是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。
扫描电镜广泛应用于许多学科领域
台式扫描电镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
扫描电镜具有高分辨率,景深大,立体感强,天津金属样品电镜分析,放大倍数可调等优点,因此广泛用于半导体,无机非金属材料和器件的检测。除了时间和费用外,它还对电子显微镜的操作者产生了束缚,是研究微观的重要工具之一。它为人们提供了研究纳米尺度物质结构的有力手段,已广泛应用于许多学科领域,例如材料科学和过程控制
扫描电镜和透射电镜设备的不同点:
高分辨率台式扫描电镜使用—组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子。
透射电镜是使用透射电子,收集透过样品的电子。因此,透射电镜提供了样品的内部结构,如晶体结构,形态和应力状态信息,而扫描电镜则提供了样品表面及其组成的信息。
而且,这两种设备的差别之一是它们可以达到的空间分辨率;扫描电镜的分辨率被---在~0.5nm,而随着近在球差校正透射电镜中的发展,已经---了其空间分辨率甚至小于50pm。
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