泰安电镜测试-9d实验室电镜分析-电镜测试机构

当一束超细高能入射电子轰击和扫描样品表面时，电镜测试机构，激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续光谱x射线、背散射电子、透射电子以及可见、紫外和红外区域的电磁辐射。同时可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。扫描电子显微镜通常至少有一个检测器(通常是sei)，其中许多配备了额外的检测器，如eds、bse、wds、ebsd、cl等。但特定仪器的特殊功能---依赖于合适的探测器，探测器的安装角度，即样品分析室的设计，对分析效果影响很大。为了获得较高的扫描电子显微镜分析，我们应该对各种功能机制有深入的了解。

离子溅射镀膜

原理：

离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电，电镜测试中心，产生正的气体离子；在阴极（靶）和阳极（试样）间电压的加速作用下，荷正电的离子轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化；形成的中性原子，从各个方向溅出，射落到试样的表面，于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。

特点：

对于任何待镀材料，只要能做成靶材，泰安电镜测试，就可实现溅射（适合制备难蒸发材料，不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料）；

溅射所获得的薄膜和基片结合较好；

消耗少，电镜测试费用，每次仅约几毫克；

溅射工艺可重复性好，膜厚可控制，同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。